中空伺服電機簡介

中空軸伺服電機在半導體設備中扮演著至關(guān)重要的角色。它主要用于晶圓吸附旋轉(zhuǎn)，確保晶圓在清洗、涂膠、顯影、刻蝕等工藝過程中的穩(wěn)定性和精確性。該電機具備一系列獨特的性能特點，使其成為半導體設備中的理想選擇。

半導體工藝流程圖

應用場景

晶圓清洗：在晶圓清洗過程中，中空軸伺服電機用于吸附并旋轉(zhuǎn)晶圓，確保清洗液能夠均勻覆蓋晶圓表面，從而提高清洗效率和質(zhì)量。

涂膠：在涂膠工藝中，電機用于精確控制膠液的涂布量和均勻性，確保晶圓上的膠層厚度一致，有助于提高半導體器件的良品率。

顯影：在顯影過程中，電機用于旋轉(zhuǎn)晶圓，使顯影液能夠均勻作用于晶圓表面，從而準確顯露出所需的電路圖案。

刻蝕：在刻蝕工藝中，電機同樣用于旋轉(zhuǎn)晶圓，確?？涛g液能夠均勻作用于晶圓表面，實現(xiàn)精確的刻蝕效果。

應用案例

方案優(yōu)勢

1空間優(yōu)化

以往的結(jié)構(gòu)是伺服通過皮帶輪裝置連接中空軸，結(jié)構(gòu)相對復雜，占據(jù)空間。通過采用中空伺服電機，可簡化機械結(jié)構(gòu)以實現(xiàn)節(jié)省空間的目的。

2粉塵減少

中空部的轉(zhuǎn)動軸采用不銹鋼，并選用低發(fā)塵規(guī)格的特殊潤滑脂，有效地減少了粉塵的發(fā)生。

3高速高精度

搭載了17bit高分辨率編碼器（可定制24bit）， 最大速度可達5000 RPM。

傳統(tǒng)伺服電機結(jié)構(gòu) VS 中空伺服電機結(jié)構(gòu)

規(guī)格選型

80伺服電機示意圖