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全自動單片晶圓清洗機，自動晶圓清洗機，晶圓清洗機

全自動單片晶圓清洗機，自動晶圓清洗機，晶圓清洗機

應用領域RCA清洗，沉積前清洗，蝕刻后清洗，CMP后清洗，濕法刻蝕，EPI前清洗等晶圓尺寸：50~300mm工藝指標蝕刻均勻性：片內(nèi)：≤3%；片間：≤3%；批次間：≤3%；顆粒控制：增加值<20顆@0.2微米金屬離子：<5E10 atoms/cm2設備配置2-6個清洗工位全自動潔凈晶圓機械手中央化學藥液供應系統(tǒng)：CDS，支持化學液加熱控制，濃度控制，流量控制，壓力控制等兆聲波清洗系統(tǒng)3

晶圓單片清洗機，晶圓甩干機，單晶爐，多晶爐，區(qū)熔爐，，晶片檢測強光燈，單片甩干機，梅耶博格內(nèi)圓鋸，晶圓倒角機

應用領域

RCA清洗，沉積前清洗，蝕刻后清洗，CMP后清洗，濕法刻蝕，EPI前清洗等晶圓

尺寸：50~300mm

工藝指標

蝕刻均勻性：片內(nèi)：≤3%；片間：≤3%；批次間：≤3%；

顆?？刂疲涸黾又?lt;20顆@0.2微米

金屬離子：<5E10 atoms/cm2

設備配置

2-6個清洗工位

全自動潔凈晶圓機械手

中央化學藥液供應系統(tǒng)：CDS，支持化學液

加熱控制，濃度控制，流量控制，壓力控制等

兆聲波清洗系統(tǒng)30W：0.1微米以下顆粒

酸、堿、有機液排風分離

支持化學液回收

高清攝像頭，純水防靜電裝置（可選）

全面支持SECS/GEM通訊協(xié)議

關聯(lián)內(nèi)容

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