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應(yīng)用領(lǐng)域RCA清洗,沉積前清洗,蝕刻后清洗,CMP后清洗,濕法刻蝕,EPI前清洗等晶圓尺寸:50~300mm工藝指標(biāo)蝕刻均勻性:片內(nèi):≤3%;片間:≤3%;批次間:≤3%;顆??刂疲涸黾又?amp;lt;20顆@0.2微米金屬離子:<5E10 atoms/cm2設(shè)備配置2-6個(gè)清洗工位(單工位的全自動(dòng)版本開發(fā)中)全自動(dòng)潔凈晶圓機(jī)械手中央化學(xué)藥液供應(yīng)系統(tǒng):CDS,支持化學(xué)液加熱控制,濃度控制,流量控制

圖片關(guān)鍵詞

應(yīng)用領(lǐng)域

RCA清洗,沉積前清洗,蝕刻后清洗,CMP后清洗,濕法刻蝕,EPI前清洗等晶圓

尺寸:50~300mm

工藝指標(biāo)

蝕刻均勻性:片內(nèi):≤3%;片間:≤3%;批次間:≤3%;

顆??刂疲涸黾又?lt;20顆@0.2微米

金屬離子:<5E10 atoms/cm2

設(shè)備配置

2-6個(gè)清洗工位(單工位的全自動(dòng)版本開發(fā)中)

全自動(dòng)潔凈晶圓機(jī)械手

中央化學(xué)藥液供應(yīng)系統(tǒng):CDS,支持化學(xué)液

加熱控制,濃度控制,流量控制,壓力控制等

兆聲波清洗系統(tǒng)30W:0.1微米以下顆粒

酸、堿、有機(jī)液排風(fēng)分離

支持化學(xué)液回收

高清攝像頭,純水防靜電裝置(可選)

全面支持SECS/GEM通訊協(xié)議


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